ニコン 解像度1.5μmのデジタル露光装置「DSP-110」を発売
スループットを約40%向上させた、半導体後工程向け露光装置
株式会社ニコンは、半導体アドバンストパッケージング向けに、解像度1.5μm※1(L/S※2)で、72 panels / hour※3のデジタル露光装置「DSP-110」を2027年4月に発売します。「DSP-110」は大型基板にも対応可能で、解像度1.0μm(L/S...
- 2026年10月13日
- 13:02
- 株式会社ニコン
スループットを約40%向上させた、半導体後工程向け露光装置
株式会社ニコンは、半導体アドバンストパッケージング向けに、解像度1.5μm※1(L/S※2)で、72 panels / hour※3のデジタル露光装置「DSP-110」を2027年4月に発売します。「DSP-110」は大型基板にも対応可能で、解像度1.0μm(L/S...
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