イリノイ大学、ナノファブリケーション研究所にテクトロニクスの製品を採用
学部生用で初となるナノ加工研究所が、実習用にケースレーの4200A-SCS型パラメータ・アナライザを採用
［2017年10月17日］ 米国オレゴン州ビーバートン発
テクトロニクスは、本日、米国イリノイ大学アーバナ・シャンペーン校の電気／コンピュータ工学部が、学部生用で初となるマイクロ／ナノエレクトロニクス実習用のナノ加工研究所において、ケースレーの4200A-SCS型パラメータ・アナライザ3台と、4200A-CVIV型マルチスイッチ・モジュール3台を購入したことを発表しました。4200A-SCS型はモジュラ形式の統合パラメータ・アナライザであり、材料、半導体のデバイス、プロセスの電気特性評価に最適です。4200A-CVIV型は、DCとACの測定の確実な切り替え、任意のデバイス端子でAC測定が実行可能なマルチスイッチです。
イリノイ大学は、電気／コンピュータ工学部の敷地にナノファブリケーションの研究所として21,368m2の敷地を確保し、学生用の電気／コンピュータ実習トレーニング用の20か所以上の専用施設を建設しています。イリノイ大学は、学生や新しいユーザが最小のトレーニングですぐに使えるよう、ナノ加工研究所用として4200A-SCS型を採用しました。4200A-SCS型は、以下のような優れた操作性を備えています。
- 日本語、中国語、英語、韓国語による、測定のセットアップ、トラブルシュート方法を解説するYouTube（R）のような動画機能が組込まれている。また、アプリケーション・シート、オンライン・セミナも閲覧可能
- テスト・プラン開発のための、そのまま使用／編集可能な450種類以上のアプリケーション・テスト／デバイスを装備
- ビジュアル化されたテスト・プラン開発とテスト・シーケンス・ツールを装備
- Confidence Check機能により、プローブがウェハ上のパッドに接触していることを確認可能
4200A-SCS型は、I-V特性評価のためのSMU（ソース・メジャー・ユニット）、ACインピーダンス測定のためのC-Vモジュール、パルスI-V、波形取込み、トランジェントI-V測定のための超速パルス測定ユニットで構成されています。研究者、エンジニアは材料研究、半導体デバイスの設計、開発、製造で必要になる重要なパラメータを得ることができます。
テクトロニクス、ケースレー製品ライン、ジェネラル・マネージャのマイク・フラハーティ（Mike Flaherty）は、次のように述べています。「4200A-SCS型は、パラメータ・アナライザを使用したことのないユーザであっても簡単にセットアップでき、操作方法を容易に習得できることに注力して開発されました。4200A-SCS型の操作性は、イリノイ大学における実習に最適であり、半導体デバイスの研究、デバイスの不良解析、信頼性試験など、複数のユーザでリソースを共有するアプリケーションにも適しています」
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