SiC、GaNなど、最新のパワー半導体デバイスのための最大3kVの完全自動、高速ウェハレベルのパラメトリック・テスト・ソリューション
報道発表資料
2016年10月26日
テクトロニクス（代表取締役 米山 不器）は、本日、ケースレー S540型パワー半導体テスト・システムを発表します。S540型は、完全自動、48ピン対応のパラメトリック・テスト・システムであり、最大3kVのパワー半導体デバイスのウェハレベルのテストが行えます。SiC（炭化ケイ素）、GaN（窒化ガリウム）など、最新の化合物パワー半導体材料での使用に最適であり、一度のプロービングで高電圧、低電圧、容量テストがすべて実行できます。
パワー半導体デバイスの需要は増え続けており、SiCやGaNなどの商品化に伴い、パワー半導体デバイス製造メーカは、製造プロセスでウェハレベルのテストを採用し、歩留りの最適化や利益率の改善を図っています。このようなアプリケーションにおいて、S540型はテスト時間、テストのセットアップ時間を短縮し、設置スペースを節約するため、所有コストの低減と研究室レベルの高電圧測定性能が実現できます。
テクトロニクス、ケースレー・プロダクト・ラインのジェネラル・マネージャであるマイク・フラハーティ（Mike Flaherty）は、次のように述べています。「多くの製造現場では、パワー半導体テストで低電圧テストから高電圧テストに切替える場合、テスト・セットアップをマニュアルで切り替える必要のある独自のハイブリッド・テスト・システムでテストしています。このため、手順が増え、製造スピードが低下します。これに対し、S540型は完全統合ソリューションであり、数多くのデバイスをすばやくテストしなければならない製造環境に最適です」
S540型はケーブルの再接続またはプローブ・カードの変更なしに、最高48ピンのパラメトリック測定が可能です。また、Ciss、Coss、Crssなどのトランジスタ容量も、最大3kVまで測定できます。さらに、テスト出力機能としてはサブpAの測定性能が実現されており、高電圧のリーク電流が1秒以内に完全自動測定できます。
S540型は標準的な市販製品であり、社内製作またはカスタム・システムでは見過ごされがちな、トレーサビリティが保証されたシステム仕様、安全適合性、診断機能、ワールドワイドなサービス／サポート、機能などを備えています。S540型は、ケースレーの30年以上における半導体パラメトリック・テストの専門知識、安全性に関する経験をもとに設計されており、低電圧、高電圧両方のスイッチング・マトリクス、ケーブル、プローブ・カード・アダプタ、プローバ・ドライバ、テスト・ソフトウェアなど、業界トップクラスの半導体テスト計装をシームレスに統合しています。
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米国オレゴン州ビーバートンに本社を置くテクトロニクスは、お客様の問題を解決し、詳細の理解を深め、新たな発見を可能にする、革新的で正確かつ操作性に優れたテスト／計測モニタリング・ソリューションを提供しています。テクトロニクスは70年にわたり電子計測の最前線に位置し続けています。
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ケースレーインスツルメンツは2010年にテクトロニクス・ファミリに加わりました。
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