S530シリーズ用KTE 5.6ソフトウェア・リリースにより、ウェハレベルのテスト・スループットの向上と所有コストの改善を発表
報道発表資料
2015年9月28日
ケースレーインスツルメンツ（代表取締役 木下 伸二、以下、ケースレー）は、本日、ケースレーのS530シリーズ・パラメトリック・テスト・システムのシステム・ソフトウェア・アップデート（KTE version 5.6）を発表します。これにより、測定時間を最大25%短縮するため、ウェハレベルのテスト・スループットが向上し、半導体製造および研究／開発部門におけるS530シリーズのコスト・オブオーナーシップ（COO）が改善されることとなります。詳細については、ウェブ・サイト（
http://www.keithley.jp/products/semiconductor/S530parametrictestsys/?mn=S530） をご覧ください。
製造コストを低減し、生産量を増やすことが、進化する材料とデバイス・ストラクチャに対処しなければならない半導体製造メーカにとっての目標です。インライン・パラメトリック・テストのスループットとCOOは、半導体ウェハで必要なすべての測定に要する時間と直接関連します。S530シリーズの新しいソフトウェア・リリースであるKTE（Keithley Test Environment）ソフトウェアは、テスト性能の大幅な改善によってこの要求に応えます。
テクトロニクス、ケースレー・プロダクト・ライン、ジェネラル・マネージャのマイク・フラハーティ（Mike Flaherty）は、次のように述べています。「最新のICデバイスの製造、テストでは、COOの低減が重要になります。最新のリリースでは、優れたCOOでパラメトリック・テスト・システムが実行でき、改善されたインライン・ウェハ・テスト・スループットにより測定時間が大幅に短縮できます。これにより、収益改善が可能になり、急速に変化する業界において競争力を維持できます」
S530シリーズのソフトウェア・アップデートには、低電流測定のセトリング時間を短縮するシステムSMUの強化が含まれています。電流測定が高速になると、全体としてのシステム測定速度が高速になります。新しいシステム測定の設定と簡素化されたソフトウェアの実行により、さらにシステム速度が高速になっています。このアップグレードでは、テクトロニクス最新のケースレー・デジタル・マルチメータ（DMM）も統合されており、短時間での低電圧、低抵抗測定が行えます。
＜S530シリーズのアプリケーション＞
S530シリーズは、さまざまな製品を含んだ製造パラメトリック・テスト環境、またはさまざまなアプリケーションに柔軟に対応し、高速のテスト・プラン開発が重要な製造パラメトリック・テスト環境に最適化されています。標準のCMOS、バイポーラ、MEMS、その他関連する低電圧半導体プロセスで一般に使用される200Vシステム構成に加え、ケースレーはGaN、SiC、Si LDMOSパワー・デバイスの要求による、テストが難しいブレークダウン、リーク・テストのために最適化された、独自の1kVバージョンも提供しています。
＜ケースレーインスツルメンツについて＞
ケースレーはテクトロニクス・ファミリーの一員であり、高性能製造テスト、プロセス監視、製品開発、研究を行う電子機器製造メーカ独自のニーズに対応した、最新の電気テスト機器／システムを提供しています。DC（直流）またはパルス状の電気信号のソース、測定、接続、制御、通信で使用される、500種類近くの製品をラインアップしています。ケースレーのお客様は、世界規模のエレクトロニクス業界の科学者／エンジニアが中心であり、最新の材料研究、半導 体デバイスの開発と製造、携帯無線デバイスなどの最終製品の製造に携わっています。詳しくはウェブ・サイト(
http://www.keithley.jp/）をご覧ください。
＜お客さまからのお問合せ先＞
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