ADVANCED ENERGYが市場トップのRF電源製品ラインを拡大、半導体及び産業用メーカーのニーズに対応

Advanced Energy Industries
2021年01月20日
11：59

AEのParamount製品ファミリーを拡大するParamount HP 10013 ジェネレータは、さらなる高出力でプロセス高速化と歩留まり向上を実現

東京，日本-Media OutReach- 2021年1月20日-Advanced Energy (Nasdaq: AEIS)(http://www.advancedenergy.com/ ) -高度なエンジニアリングの高精度電力変換、計測、制御ソリューションのグローバルリーダーである同社は本日、最上位機種のParamount(R)RF （高周波）電源ファミリーを拡大する新製品Paramount HP 10013 を発表しました。

半導体及び産業用成膜工程のために設計されたParamount HP 10013は、業界をリードするAEのプラズマ用給電システムに基づいており、対象にはコンダクターエッチング、絶縁膜エッチング、デポジション（堆積）、スパッタリング、イオン注入等が含まれます。Paramount HP 10013はParamount 13.56 MHzプラットフォームにさらに高出力の10 kW能力を備え、高精度・高繰り返しのパルスパワーが低平均電力での高インパルスエネルギーが可能で実現します。この高出力化がプラズマ密度とイオンエネルギーを向上させ、より高速で深堀りのエッチング及びデポジションの高速化、最先端の高アスペクト比デバイス構造の要件や新興のアプリケーションに対応しています。

「ICが民生用、エンターテインメント、製造、コンピューティング、交通その他多くの市場のほとんど全製品の一部になった今、私たちの業界が直面しているのは高精度プロセス用電源の従来にない広範なアプリケーション範囲とそれに伴う数々の課題です」とAdvanced Energy の半導体及びコンピューティング製品担当シニアバイスプレジデントのPeter Gillespieは語っています。「AEのParamount製品ファミリーは、業界初の採算化可能な全デジタルRF電源としてパルスRF電源の先駆けとなりました。今回の高出力ソリューションの発売で、AEのカスタマーはより複雑化した3次元アーキテクチャの創造や新材料におけるイノベーションが可能になります」。

Paramountプラットフォームのデジタルアーキテクチャは、高精度の電力管理を備え、ハードウェアの変更なしで新機能統合を簡素化します。またフルデジタル制御によりプラズマの動的でリアルタイムな検知が可能で、再現性を備えた高出力を発揮します。さらにデジタルインターフェースで、他のRFジェネレータとの同期が可能で、市場をリードするAEのNavigatorライン及びNavigator II デジタルマッチングネットワークとのシームレスな接続を備えています。この両者を合わせると、半導体業界で最も広く採用されているプラズマ用電源ソリューションとなります。

技術的詳細はParamountファミリー製品ページ(https://www.advancedenergy.com/products/plasma-power-generators/rf-plasma-generators/paramount-rf-power-delivery-systems/ )をご覧下さい。

Advanced Energyについて
Advanced Energy (Nasdaq: AEIS) は、ミッションクリティカルなアプリケーションとプロセスを対象にに、先進のエンジニアリングによる高精度電源変換、計測および制御ソリューションを設計・製造するグローバルリーダーです。AEの電源ソリューションは、複雑な半導体及び産業用アプリケーションにおけるカスタマーの革新を可能にし、その対象は半導体装置、製造業、通信、データセンターコンピューティングサーバー・ストレージ、ヘルスケアなどの多様な業界です。エンジニアリング・ノウハウと世界中での迅速なサービス及びサポートを備える当社は、テクノロジーの進歩、顧客の成長推進、未来の電力の革新に対応すべく、数々の協働的パートナーシップを確立しています。Advanced Energyは30年以上にわたり、グローバルな顧客のために完璧な電源対応で貢献しており、本社は米国のコロラド州フォートコリンズにあります。詳細はhttps://www.advancedenergy.com/をご覧下さい。

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