Advanced Energyの4100T光ファイバー放射温度計が、最先端半導体プロセスの温度精度と温度制御を改善

測定精度と読み出し速度が向上した4100Tマルチチャンネル・非接触式光ファイバー放射温度計で、市場トップのOR4000Tから容易な アップグレードが可能

東京,日本 - Media OutReach - 2021年11月24日 - Advanced Energy (Nasdaq: AEIS) - 高度なエンジニアリングの高精度電力変換、計測、制御ソリューションのグローバルリーダーである同社は本日、Sekidenko 4100Tパイロメーターを発表しました。市場でトップのAdvanced Energy OR4000Tに用意に交換可能なこの4100T光ファイバー放射温度計 (OFT) は、最先端の半導体と関連の薄膜工程を対象に比類のない温度測定精度、より広範な温度範囲、マルチチャンネル同時最速読み出しを実現しています。

「Advanced Energy’のパイロメーターは、業界をリードするその性能から最大手の半導体OEM各社に使用されています。この4100Tは、市場で最高の当社の OR4000Tを上回る多くの改善により当社の主導権を強化し、当社の顧客が比類のないレベルのプロセス制御と製造性に達することを可能にします」と、Advanced Energyのクリティカルセンシング&コントロール担当バイスプレジデントのJeff Hebbは述べています。「機能豊富なこの4100TはOR4000Tの“ドロップイン”置換品で、当社の既存顧客は非常に便利な アップグレードが可能になります。さらにEtherCAT、シリアル通信、USB通信をサポートしています」

最大4つの異なる温度を同時測定可能な4100Tは、マルチポイント制御 に要する制御ボックス数が減り、フォームファクタも縮小されてコスト節減に繋がる利点があります。チャンネルあたり最高1 kHzでの高速読み出しでのより速い温度応答性による温度制御の向上と、迅速な熱処理、レーザアニール、原子層堆積その他の先進成膜技術等の最先端アプリケーションの均一性を可能にします。

アプリケーションに特化する波長調整可能なこのOFT は、最も要件の厳格な測温で。比類のない精度、繰返し性、信頼性、速い読み出し速度を発揮します。従来の熱電対その他の接触式測温はウェハへの物理的接触で、熱移動による損傷、コンタミネーション、測定誤差の可能性があります。この4100Tは対象に接触せずに、±1.5°Cの精度で温度を直接in-situ測定します。4100Tは接触式測温による潜在的問題を回避するだけでなく、非常な高温や高いランプレートでウェハが移動するか処理されるアプリケーションに対する最適のソリューションでもあります。

製品の詳細と技術仕様は次をご参照下さい:
https://www.advancedenergy.com/products/temperature-measurement/thermal-measurement-optical-pyrometers-power-controllers/semiconductorthin-film-pyrometers/sekidenko-4100t/

Advanced Energyについて
Advanced Energy (Nasdaq: AEIS) は、ミッションクリティカルなアプリケーションとプロセスを対象に、先進のエンジニアリングによる高精度電源変換、計測および制御ソリューションを設計・製造するグローバルリーダーです。AEの電源ソリューションは、複雑な半導体及び産業用アプリケーションにおけるカスタマーの革新を可能にし、その対象は半導体装置、製造、通信、データセンターコンピューティング、ヘルスケアなどの多様な業界です。エンジニアリング・ノウハウと世界中での迅速なサービス及びサポートを備える当社は、テクノロジーの進歩、顧客の成長推進、未来の電力の革新に対応すべく、数々の協働的パートナーシップを確立しています。Advanced Energyは30年以上にわたり、グローバルな顧客のために完璧な電源対応で貢献しており、本社は米国のコロラド州フォートコリンズにあります。詳細は http://www.advancedenergy.com をご覧下さい。

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本件に関するお問合わせ先
Alice Hui
+852 2176 3548
Alice.Hui@aei.com

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組織名
Advanced Energy Industries
ホームページ
https://www.advancedenergy.com/
代表者
Yuval Wasserman

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